產品描述

LED專用爐主要滿足LED芯片製造行業，對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。

特點：

★關鍵件全部採用進口件，具有高可靠性。

★具有可編程的升、降溫功能。

★具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。

★可存儲九條工藝曲線。每條工藝曲線 有九步。

★曲線間可以任意鏈接、重複。

★具有高抗干擾能力。

★具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。

★可為您提供斜滾式推拉舟系統，石英雙杆推拉舟系統及SiC漿推拉舟系統。

主要技術參數：

★可配工藝管數量：1~4管/台；        ★工作溫度範圍：400～1300℃；

★恆溫區長度及精度：300～1000mm    600~1280℃±0.5℃；

★單點溫度穩定性：600～1280℃±0.5℃/24h；     ★ 可控升溫速度：15℃/min

★ 降溫速度：5℃/min 

 

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