太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。
◆工作温度：300~1300℃
◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制
◆恒温区长度：1080mm（可根据用户要求定制）
◆温区精度（静态闭管测试）：
600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃
300℃≤工作温度≤600℃：±1℃
◆单点温度稳定性（静态闭管测试）：
600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃/24h
300℃≤工作温度≤600℃：±1℃/24h
◆温度斜变能力：
可控升温速度（300～1300℃）：15℃/min
降温速度（1300～900℃）：5℃/min
◆气体流量设定精度：±2％FS
◆气路系统气密性：1×10-7PA.m3/s
◆自动送料装置行程：~2000mm
速度：5~1000mm/min
SiC浆承重19kg
◆装片数量400片/管
◆净化台洁净度100级（10000级厂房）
◆三相五线制380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷却水：2～4Kgf/cm2，～8L/min
