太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟着陸擴散爐。
◆工作溫度：300~1300℃
◆有效口徑根據用戶擴散片確定，可訂製
◆恆溫區長度：1080mm（可根據用戶要求定製）
◆溫區精度（靜態閉管測試）：
600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃
300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃
◆單點溫度穩定性（靜態閉管測試）：
600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h
300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h
◆溫度斜變能力：
可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min
降溫速度（1300～900℃）：5℃/min
◆氣體流量設定精度：±2％FS
◆氣路系統氣密性：1×10-7PA.m3/s
◆自動送料裝置行程：~2000mm
速度：5~1000mm/min
SiC漿承重19kg
◆裝片數量400片/管
◆淨化台潔淨度100級（10000級廠房）
◆三相五線制380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min
